無塵車間工程的“凈”不是一句口號，而是一場與微米級顆粒的持久戰(zhàn)。很多人以為把墻板拼嚴、地面刷亮、空調(diào)開大就能“無塵”，直到粒子計數(shù)器一測，0.5 μm 顆粒超標十倍，才意識到：真正的潔凈度是算出來、做出來、測出來的，不是裝修出來的。

第一步先算風  
潔凈度等級一旦確定，換氣次數(shù)就板上釘釘：百級需要單向流 0.2–0.5 m/s 的面風速，相當于每小時把空氣換掉 300 次以上；萬級區(qū)域靠亂流稀釋，換氣也要 60 次左右。用 CFD 把顆粒軌跡跑一遍，就能在電腦里看見死角，提前把送風口挪 150 mm，后期調(diào)試可省三天時間。

第二步選過濾器  
末端 HEPA 只認 H13 起步，效率 99.95%@MPPS，阻力 250 Pa 是新濾芯的甜蜜點；若工藝產(chǎn)熱大，選低阻玻纖濾料，風機可降 0.3 kW，一年電費省出一臺 FFU。別在預過濾上省錢，G4+F7 組合能把 1 μm 以上的粒子截掉九成，末端壽命直接翻倍，停工換濾網(wǎng)的損失遠比一片 F7 貴。

第三步做圍護  
50 mm 厚雙面寶鋼 0.5 mm 彩鋼板只是入門，芯材密度必須 ≥120 kg/m³，才能承受 1000 Pa 壓差不變形。陰角全部內(nèi)圓弧 R50，硅膠要打“雙道”，先打一道等固化，再打第二道，杜絕溫差裂縫。地板用 2 mm 環(huán)氧自流平配銅箔網(wǎng)，表面電阻 10?–10? Ω，既能泄放靜電，又經(jīng)得起叉車輪胎的每天碾壓。

第四步控溫濕 
芯片廠光刻區(qū) 22 °C ±0.3 °C、45 %RH ±3 % 是硬指標，靠干盤管+FFU 回風夾墻實現(xiàn)。干盤管進水 14 °C，出風 16 °C，沒有冷凝水，也就沒有了細菌滋生的溫泉。再配一臺轉(zhuǎn)輪除濕機，把新風含濕量壓到 4 g/kg，哪怕梅雨季室外 28 °C、90 %RH，室內(nèi)仍舊穩(wěn)如初見。

第五步保壓差
不同區(qū)域之間 5–12 Pa 的壓差梯度，是顆粒“單向流動”的護城河。門一打開，氣流速度 0.2 m/s 往外吹，灰塵進不來。壓差不是靠多送風，而是靠回風閥精調(diào)：每 50 Pa 閥門開度只轉(zhuǎn) 8°，用電動執(zhí)行器 1 % 的步進值，才能鎖住梯度，不讓“潔凈走廊”變成“灰塵通道”。

第六步上監(jiān)測
0.5 μm 與 5.0 μm 雙通道粒子傳感器裝在關(guān)鍵工位，數(shù)據(jù)每 6 秒更新一次，超閾值先聲光報警，再推送到手機。溫濕度、壓差、風機頻率全部接入 BACnet 網(wǎng)關(guān)，值班人員在辦公室就能看到百級區(qū) FFU 的實時電流：電流升高 10 %，八成是濾網(wǎng)堵了，提前下單更換，半夜停產(chǎn)的尷尬就不會發(fā)生。

第七步做驗證
ISO 14644-3 的 20 項測試一個都不能省：氣流平行度用煙霧筆拍照，濾網(wǎng)掃描用 PAO 氣溶膠，風量用電子風量罩，噪聲用 1 級聲級計。報告一次性通過第三方 NEBB，才算把“無塵”二字寫進紙面，也寫進客戶心里的安全區(qū)。

技術(shù)說完，只剩一句：無塵車間工程不是豪華裝修，而是精密工程。把顆粒當敵人，把風速當武器，把數(shù)據(jù)當通行證，才能在微米戰(zhàn)場里贏得真正的“凈”。